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RTP快速退火爐

發布時間:2017-11-16  瀏覽次數:1149

產品型號:NBD-HR1200-110IT-170
商品簡述:NBD HR系列高溫快速熱處理退火爐簡稱RTP。 
該產品采用成熟的制造工藝,RTP快速退火爐造型新穎結構合理; 
目前已被各種試樣實驗多次驗證,RTP快速退火爐并已廣泛用于半導體器件研發及生產等領域; 

該系統主要用于: 
1.可滿足離子注入后的快速退火; 
2.也可用于歐姆接觸快速合金; 
3.還可用于硅化物合金退火,RTP快速退火爐氧化物生長; 
4.以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。 
該設備是國家專利保護產品,專利號:CN201310005931.6
快速熱處理退火爐簡稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),RTP快速退火爐在成熟的生產制造工藝的基礎上,自主研發了該款產品,擁有發明專利。RTP快速退火爐該設備不但擁有較快的升溫速率500℃/S,而且在燒結工藝運行完結,直接將試樣在高溫區取出。實現物理狀態下的較快降溫。我們的工程師們巧妙地利用了冷壁工藝,RTP快速退火爐在綠色節能環保的基礎上實現了試樣的快速升降溫!
腔體采用了不同的進氣結構,內管進氣,外管出氣,RTP快速退火爐使得反應氣氛與加工樣品充分而均勻地接觸。測溫元件直接和試樣接觸,保證試樣溫度的準確性。


RTP快速退火爐主要技術參數

1

項 目

主要技術指標

數據

2

規格型號

NBD-HR1200-110IT-170

3

溫度控制

最高溫度點

1200℃

4

額定溫度

1100℃

5

穩定狀態溫度范圍

100~1000℃

6

溫度測量精度

±0.2℃

7

溫度控制重復性

±1℃

8

溫度控制精確度

±1℃

9

溫場均勻性

±2℃

10

溫度狀態工藝時間(S)

2~100(100~1000℃)

11

最快升溫速率

500℃/S

12

降溫速率(℃/S)

1~200(通氮氣,速率更快)

13

溫度控制模式

智能模糊全閉環控制

14

軟件功能

操控系統

NBD-101智能系統

15

用戶界面

中英文互換

16

工藝菜單編輯

觸屏式圖像操作界面

17

擴充端口

可擴充真空測控和FFC供氣

18

看門狗

系統進入死循環時關閉主控制器

19

熱電偶校準狀態檢測

軟件校準,方便準確,軟件分析傳感器狀態是否正常

20

超高溫狀態檢測

軟件檢測出溫度信息出現高溫異常時,切斷主回路

21


觸摸屏尺寸

7"LCD

22

物理指標

最大功率

15kw

23

額定電壓

AC380~400V,50Hz(60Hz定制)

24

傳感器類型

S型單鉑銠

25

反應腔室內徑尺寸

Φ100X200mm

26

式樣有效空間

3.5"

27

真空度

4.3×10-3Pa(外配分子泵)

28

抽氣端口尺寸

KF16(或Φ8mm寶塔嘴)

29

供氣口尺寸

Φ6.35mm雙卡套

30

冷卻方式

自然冷卻或強迫風冷N2或壓縮空氣:2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2) 

31

外形凈尺寸(mm)

長920×深500×高560

32

重量

凈重65kg

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